基于有限元方法MEMS陀螺仪环境应力仿真分析

基于有限元方法MEMS陀螺仪环境应力仿真分析基于有限元方法的MEMS陀螺仪环境应力仿真分析摘要：MEMS陀螺仪作为一种重要的微机械系统，广泛应用于导航、惯性测量等领域。环境应力对MEMS陀螺仪的性能和