光谱式MEMS气敏传感器的设计及关键结构制作技术研究

光谱式MEMS气敏传感器的设计及关键结构制作技术研究光谱式MEMS气敏传感器的设计及关键结构制作技术研究摘要：随着现代工业的发展，传感器技术在各行各业中得到了广泛的应用。其中，气敏传感器成为了一个重要