基于改进型遗传算法的薄膜厚度及光学常数反演

基于改进型遗传算法的薄膜厚度及光学常数反演摘要：光学薄膜是一种在光学器件制造工艺中广泛应用的材料，薄膜的厚度和光学常数的反演是薄膜制备过程中的重要问题。本文基于改进型遗传算法，结合控制变量理论和等效光