MEMS电容式微加速度计检测电路研究的中期报告

MEMS电容式微加速度计检测电路研究的中期报告本项目中期报告旨在介绍MEMS电容式微加速度计检测电路的研究进展。首先，我们对MEMS加速度计的原理进行了深入的研究和了解。加速度计是一种用于检测物体加速