4H-SiC外延层中结构缺陷的分子动力学研究的任务书

4H-SiC外延层中结构缺陷的分子动力学研究的任务书任务书标题：4H-SiC外延层中结构缺陷的分子动力学研究任务目的：1. 对于4H-SiC外延层中的结构缺陷进行分子动力学模拟研究，探究结构缺陷的形成