氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究的开题报告

氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究的开题报告一、选题背景及意义多晶硅薄膜是薄膜太阳能电池材料中应用最广泛的一种材料，其优良的光电性能和较低的制备成本使得多晶硅薄膜太阳能电池逐渐成为太阳能电池市