高功率脉冲磁控溅射技术的离子(粒子)特性及其对薄膜组织结构的影响

高功率脉冲磁控溅射技术的离子(粒子)特性及其对薄膜组织结构的影响高功率脉冲磁控溅射技术是一种较新的物理气相沉积方法，该技术利用高功率脉冲电源产生高频率调制脉冲电流，驱动靶材产生强磁场，从而溅射出高速离