电子束物理气相沉积技术制备LSM阴极的研究的综述报告

电子束物理气相沉积技术制备LSM阴极的研究的综述报告电子束物理气相沉积技术(EB-PVD)是一种先进的高温气相沉积技术,是利用电子束将金属材料蒸发成高速电子束,将其瞄准目标材料表面进行沉积。EB-PV

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