MEMS THz 滤波器的制作工艺.pdf

滤波器的制作工艺郑英彬 施志贵 席仕伟 赵
龙中国工程物理研究院 电子工程研究所摘要 基于 技术制作了太赫兹 滤波器样品李
红 赵兴海四川
绵阳
研究了制作滤波器的工艺流程方案其关键工艺