多周期SiGeSi异质纳米结构薄膜的制备研究

多周期SiGeSi异质纳米结构薄膜的制备研究综述SiGeSi异质纳米结构薄膜是一种重要的材料，因为它们具有在微电子学、光电子学和纳米电子学等领域中广泛应用的特殊性质。多周期SiGeSi异质纳米结构薄膜