国家自然科学基金资助课题

3 国家自然科学基金资助课题采用磁控管方式溅射的电子回旋共振等离子体沉积技术的研究3汪建华　袁润章(武汉工业大学, 武昌430072)邬钦崇　任兆杏(中科院等离子体物理研究所)喻宪辉(湖北省交通学院)