汞探针cv测试仪测量硅重掺衬底外延层电阻率的准确性和稳定性

摘 Y2226645 要 IUlI II Illl II[1lllll III 本论文针对公司使用汞探针CV495测试仪测量重掺衬底硅外延层电阻率时， 发现所得结果有不稳定情况，从而导致大批产品报废的