钛靶受控阴极电弧的放电特性与大颗粒缺陷研究

钛靶受控阴极电弧的放电特性与大颗粒缺陷研究钛靶受控阴极电弧的放电特性与大颗粒缺陷研究摘要：钛靶受控阴极电弧是一种常用于离子镀膜工艺中的放电技术。本论文以钛靶受控阴极电弧的放电特性以及其与大颗粒缺陷之间