高深宽比微细结构紫外光固化-脱模工艺建模与分析

高深宽比微细结构紫外光固化-脱模工艺建模与分析高深宽比微细结构紫外光固化-脱模工艺建模与分析摘要：高深宽比微细结构的制备在微电子器件、光学元件以及生物医学领域具有重要的应用价值。本文以高深宽比微细结构