氧化锆布膜中硅含量的火焰原子吸收光谱分析

氧化锆布膜中硅含量的火焰原子吸收光谱分析摘要氧化锆薄膜中硅含量的检测对于材料工程领域具有很大的意义。本文通过火焰原子吸收光谱分析技术，对不同硅含量的氧化锆薄膜进行了检测。结果表明，随着硅含量的增加，氧