微波ECR等离子体增强磁控溅射制备氮化铝薄膜的开题报告

微波ECR等离子体增强磁控溅射制备氮化铝薄膜的开题报告1.研究背景氮化铝薄膜是一种重要的材料，在光电、电子、节能领域等有着广泛的应用。目前最常用的制备方法是物理气相沉积法，但其制备过程需要高温环境、膜