纳米操作平台柔性微悬臂的模糊控制研究

纳米操作平台柔性微悬臂的模糊控制研究摘要本文研究纳米操作平台柔性微悬臂的模糊控制，该控制器已成功应用于多种纳米尺度的力学测试和物理实验。本文从该控制器的原理、设计和优化展开，其中包括模糊控制与优化问题