碳纳米管在三维集成电路芯片硅通孔中的应用

碳纳米管在三维集成电路芯片硅通孔中的应用碳纳米管在三维集成电路芯片硅通孔中的应用摘要：随着电子行业的不断发展，集成电路芯片在各个领域得到了广泛的应用。传统的二维集成电路已经遇到了物理尺寸限制和功耗问题