引信用双阈值MEMS万向惯性开关的结构设计与分析的任务书

引信用双阈值MEMS万向惯性开关的结构设计与分析的任务书一、任务背景随着微电子技术的进一步发展，MEMS技术吸引了越来越多研究者的关注。MEMS是Micro Electromechanical Sys