压电陶瓷执行器控制方法研究

压电陶瓷执行器控制方法研究压电陶瓷( PZT )执行器是将压电效应直接转化为机械形变或机械振动的驱动器件。PZT执行器具有体积小、响应快、精度高等优点，因此在工业自动化、精密加工、光学定位等领域得到了