探针测试仪测量薄膜的电阻率

肁四探针测试仪测量薄膜的电阻率蒅实验目的蚅1、掌握四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法；莁2、了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施。蒀二、实验仪器芅采用SDY-5型双电测四探针测试仪（含：直