椭圆偏振仪

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率原理：He-Ne激光（6328Å）经起偏器产生线偏振光，再经1/4波片转化为等幅椭圆偏振光，以一定入射角φ入射到样品的表面。调节起偏角P，可以使反射光变成线偏振光。此时，