基于相移法的快速激光散斑干涉技术研究

基于相移法的快速激光散斑干涉技术研究摘要：本文研究了基于相移法的快速激光散斑干涉技术，在该技术中，通过快速相移实现了高精度、高分辨率的相位测量，从而实现了对物体表面形貌的精确测量。文章介绍了该技术的基