氧化铈复合磨粒的制备及其抛光性能研究的开题报告

纳米氧化硅/氧化铈复合磨粒的制备及其抛光性能研究的开题报告1.研究背景随着微电子、光电子、精密机械等领域的发展，对于高精度、高表面质量的要求越来越高。抛光技术作为一种精加工工艺，被广泛应用于这些领域。