四视窗型交叉光栅横向剪切干涉系统数学建模与实验研究

四视窗型交叉光栅横向剪切干涉系统数学建模与实验研究本文主要介绍四视窗型交叉光栅横向剪切干涉系统的数学建模和实验研究。该系统是一种新型的干涉检测方法，通过对光斑的横向位移进行检测，可以测量出被测物体的形