激光气相法合成Sic超细粉的生成机理研究

激光气相法合成Sic超细粉的生成机理研究激光气相法合成SiC超细粉的生成机理研究摘要：近年来，SiC超细粉作为一种重要的功能材料，广泛应用于电子、光电、陶瓷等领域。激光气相法合成SiC超细粉具有成本低