关于硅中硼磷扩散的微观机理的讨论

关于硅中硼磷扩散的微观机理的讨论硅中的硼和磷元素扩散是半导体加工中的一个重要技术过程，因为它可用于形成p-n结和各种器件材料。硅中硼和磷的扩散是通过渗透机制来实现的。 在这个过程中，硼和磷离子会被引入