拉曼分析方法

3.1.2 Raman和FTIR光谱分析为了进一步研究讨论AlN薄膜样品a、b、c、d的物质结构。对所做样品进行拉曼（Raman）光谱和傅立叶变换红外（FTIR）光谱分析来鉴定AlN的分子结构。图3.