基于MEMS技术等腰梯形梁膜结构微压传感器特性研究的任务书

基于MEMS技术等腰梯形梁膜结构微压传感器特性研究的任务书一、研究背景和意义微压传感器是一种广泛应用于工业自动化、车辆控制、医疗设备等领域的传感器，可以测量物体表面的压力并将其转换为电信号输出。在实际