中子辐照氢气区熔硅单晶退火行为的正电子湮没研究

中子辐照氢气区熔硅单晶退火行为的正电子湮没研究随着先进制造技术的发展，单晶硅已经成为集成电路制造中不可或缺的材料。为了提高单晶硅晶体的质量和品质，需要采用多种方法进行处理，例如中子辐照和退火。中子辐照