单晶硅制绒溶液使用时间与金字塔尺寸、反射率之间的关系研究

单晶硅制绒溶液使用时间与金字塔尺寸、反射率之间的关系研究 　　摘 要：本文给出了单晶硅制绒基本机理，分析了在稳定的制绒工艺下，单晶硅制绒溶液使用时间对硅片表面金字塔尺寸、反射率的影响。通过对比实验，采