浅谈光学灵敏杠杆法测量孔径的方法及误差分析

浅谈光学灵敏杠杆法测量孔径的方法及误差分析光学灵敏杠杆法测量孔径是一种广泛应用于光学领域的技术，其应用范围主要是在半导体微电子、光学薄膜、精密机械加工等领域。该技术通过利用光阻效应的原理测量孔径的大小