钛酸铜钙薄膜制备工艺及介电性能的研究

钛酸铜钙薄膜制备工艺及介电性能的研究随着微电子工业的发展,对器件低功耗、高性能化、尺寸微型化以及集成化等方面提出了更高的要求。近年来,一种新型介电材料,钛酸铜钙(CaCu3Ti4012,CCTO),因