扩晶详细工艺

扩晶工艺规程工序名称：扩晶范 围：适用于产品扩晶作业流程设备及工具：扩晶机、扩晶环、静电手套、离子风扇、刀片、废料盒使用材料：蓝膜晶片作业准备：1.依据BOM核对投产的芯片型号是否符要求；2.作