电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析

电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析第5期 机电技术 97 张 琼 (闽南理工学院，福建 石狮 362700) 摘 要:提出了一种静电梳齿驱动、电容检测的微机械陀螺仪，分析了其工作原理。同时，通过陀螺进