多晶硅装置下工程设计论文

多晶硅装置下工程设计论文 1洁净设计的意义 为满足太阳能电池和大规模集成电路有关器件的质量要求，硅材料的质量好坏，直接影响到晶体结构的合格率和电学性能。因此，生产过程中对硅材料的纯度（洁