垂直腔面发射激光器中氧化速率规律的研究

垂直腔面发射激光器中氧化速率规律的研究垂直腔面发射激光器（VCSEL）是一种高效能，高速度，高功率输出的激光器，使用广泛。VCSEL生产过程中，高质量的氧化非常重要，因为好的氧化条件与氧化速率与最终的