基于ANSYS的（非）平衡磁控溅射镀膜机磁场模拟

硕士学位论文 基于／讯SYS的(非)平衡磁控溅射镀膜机 磁场模拟 西安工业大学 2006年3月 Y 934377 作 者：崔著双 指导教师：杭凌侠 教授 申请学位学科：光学工程摘要 基于ANSYS的(