石墨烯制备及改性系统装置主要功能及用途

石墨烯制备及改性系统装置主要功能及用途=OTF-1200X-II-PEC4是一款1200°C等离子增强混合物理化学气相沉积（HPCVD）双温区回 转炉系统。此系统由射频电源（带自动匹配功能）、上游原位