微纳米级微电子机械系统制造新技术论文

微纳米级微电子机械系统制造新技术论文 1引言 近几年来，MEMS技术的迅速发展，各种与系统研制相关的技术引起了业界的广泛关注。MEMS的主要特征是尺度微小及精度要求很高，目前正在研