基于音叉效应的双质量块硅微陀螺仪结构优化设计

基于音叉效应的双质量块硅微陀螺仪结构优化设计基于音叉效应的双质量块硅微陀螺仪结构优化设计摘要：本文研究基于音叉效应的双质量块硅微陀螺仪的结构优化设计。首先介绍了微陀螺仪的原理及音叉效应的作用机制，然后