微电子学的发展前景

高技 术微 电 子 学 的 发展前景’$许 居衍中 国 华 晶 电 子 集 甲公 司 教授 无 锡 1 3 1郑 左12 1无 锡东 南 大 学无 锡 分 校 教授、一 硅技术 发 展 逻 辑一 切