一种基于氧化石墨烯迈克尔逊干涉仪的湿度传感器

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 CN 110208215 A(43)申请公布日 2019.09.06(21)申请号 201910401779 .0(22)申

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