基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备

基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备摘要：大面积悬空Al膜具有广泛的应用前景，但制备过程中常常遇到很多困难。本论文基于各向同性干法刻蚀的方法，探索了一种