精编料机碎片分析与优化设计研究

料机碎片分析与优化设计研究摘要：全自动硅片下料机在生产过程中，容易受到刻蚀工艺机台碎片的影响，出现堵片、流片等问题，从而降低良品率。通过分析工艺机台产生的几种碎片形态，提出了加装碎片检测装置和改造下料