去除磷硅玻璃

- 在扩散过程中发生如下反应：POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面， P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子：这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。