半导体材料第5讲-硅、锗晶体中的杂质

- 第4章 硅、锗晶体中的杂质和缺陷 - 半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响。半导体硅、锗器件的制做不仅要求硅、锗材料是具有一定晶向的单晶，而且还要求单晶具