蓝宝石衬底基片CMP数值模拟和实验研究开题报告

蓝宝石衬底基片CMP数值模拟和实验研究开题报告一、研究背景及意义蓝宝石衬底基片是一种高质量的半导体材料，广泛应用于光电子学、微电子学、太阳能电池等领域。而CMP（化学机械抛光）是一种常用的表面处理技术