实验指导书5-单波长椭偏法测薄膜厚度与折射率

实验五 单波长椭偏法测试分析薄膜的厚度与折射率一、实验目的掌握椭偏法的基本原理，学会使用单波长椭偏仪测硅衬底上透明膜厚度和折射率。二、实验原理1、偏振光的分类 偏振是各种矢量波共有的一种性质。对各种矢