离子束抛光热效应研究

离子束抛光热效应研究离子束抛光热效应研究摘要：离子束抛光（Ion Beam Polishing, IBP）是一种用于微细加工的先进材料制备技术。然而，在离子束抛光过程中，离子束与材料之间的相互作用不仅